PROJEKTBESCHREIBUNG
Die
PVD-Beschichtung (physical vapour deposition) ist nicht nur ein
technologischer Prozess zur Herstellung von funktionellen dünnen
Schichten, sondern differenziert sich in einer Vielzahl von
unterschiedlichen vakuumtechnischen Prozessen und
Beschichtungsstoffen, abhängig von Funktionalität der Beschichtung,
sowie der Beschaffenheit des Trägermaterials. So können mit der
PVD-Technologie Gläser, Metalle, Halbleiter oder Kunststoffe
beschichtet werden.
Für die
Erfüllung dieser unterschiedlichsten Aufgaben und Anwendungsgebiete
werden PVD-Prozesse wie zum Beispiel thermisches Verdampfen,
Sputtern, Ion-Plating oder Arc Verdampfung eingesetzt, die in
entsprechenden Vakuumanlagen unter definierten Bedingungen (Druck,
Gase, Ströme, Spannungen) ablaufen.
In
zunehmenden Maße kommen im industriellen Umfeld der PVD-Beschichtung
auch plasma- und ionenunterstützte Prozesse zur Anwendung, bei denen
zur konventionellen Verdampfung des Beschichtungsgutes zusätzliche
Plasmaund Ionenquellen eingesetzt werden, um die geforderten
mechanischen, optischen, oder elektrischen Eigenschaften der
aufgedampften dünnen Schichten weiter zu optimieren. Typische
Anwendungen derartiger dünner PVD-Schichten liegen im
Bereich der Optik (z.B. Brillenbeschichtung,
Architekturglasbeschichtung, optischen Systemen wie Linsen und
Strahlteiler, Laserspiegeln, Filter für die Telekommunikation, im Bereich
des Maschinenbaus und der Werkzeugtechnik (z.B.
Korrosionsschutzschichten, Hartstoffschichten für Dreh- und
Fräswerkzeuge, Gleitreibungsschichten für Lager
oder Oberflächenschutzschichten) und im zunehmenden Maße im Bereich
der Medizintechnik (z, B. antibakterielle Beschichtungen, fungizide
Oberflächen,
Barriereschichten, oder eine verbesserte Osteogenese bei
Titan-Implantaten).
Ziel des
Projektes ist die Analyse und Optimierung von Plasma und Ionen
unterstützten PVD-Prozessen mittels automatisierter Messtechnik und
die Entwicklung bzw. Optimierung von neuen, innovativen und
zukunftsweisenden PVD-Beschichtungsprozesses zum Aufbringen von
funktionellen dünnen Schichten im Bereich des Werkzeugund
Maschinenbaus, aber auch für den Anwendungsbereich Life Science und
Medizintechnik.
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